等离子清洗机工作原理

    等离子清洗机原理是在真空状态下使电极之间形成高频交变电场,区域内气体在交变电场的激荡下,形成等离子体,活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用,使被轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子,和气态物质,经过抽真空排出,而达到清洗目的。
    等离子体清洗机作为一种精密干法清洗设备,应用于半导体、厚膜电路、元器件封装前、COG前工序、LED后工序、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗、塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
    特点:
    1. 所有关键部件全部采用进口,确保设备运行寿命和产品质量。
    2. PLC或工控机控制,工艺参数、运行时间、工艺过程实时监视并显示运行状态包括自动模式和手动模式。
    3. 清洗时间、基础压力、功率、流量设定可调。
    4. 工作气体压力低、压缩空气压力低、泵热过载、反应仓泄露、反射功率过大报警。
    5. 可根据客户工艺定制(在线式)等离子体清洗机。
    1. 什么是等离子体
    等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态3种状态存在,但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在,如太阳表面的物质和地球大气电离层中的物质。这类物质所处在的状态称为等离子体状态,又称为物质的第四态。等离子体中存在下列物质。处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;分子解离反应过程中生成的紫外线;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持中性状态。
    2. 如何用人工方法制得等离子体
    通过多种形式,如电弧放电、辉光放电、激光、火焰或者冲击波等,都可以使处于低气压状态下的气体物质转变成等离子体状态。如在高频电场中处于低气压状态的氧气、氮气、甲烷、水蒸气等气体分子在辉光放电的情况下,可以分解出加速运动的原子和分子,这样产生的粒子被解离成电子和有正负电荷的原子和分子。这样产生的带电粒子和电子在电场中加速时会获得高能量,并与周围的分子或原子发生碰撞,结果使分子和原子中又激发出电子,而本身又处于激发状态和离子状态,这时物质存在的状态即为等离子体状态。
    3.等离子体的种类
    (1)从温度上区分,可分为高温等离子体和低温等离子体两类。
    (2)从气体活泼程度区分,根据产生等离子体时应用的气体的化学性质不同,可分为活泼气体等离子体和惰性气体等离子体两类。
    4.等离子体与物体表面的作用
    在等离子体中除了气体分子、离子和电子外,还有存在受到能量激励状态电中性的原子或原子团(又称自由基),以及等离子体发射出的光线,其中波的长短、能量的高低,在等离子体与物体表面相互作用时有着重要的作用。
    (1)原子团等自由基与物体表面的反应
    (2)电子与物体表面的作用
    (3)离子与物体表面的作用
    (4)紫外线与物体表面的反应

Copyright @ 2007-2014 GODEL All Rights Reserved
地址:山东省招远市高新技术开发区(招金路518号)
电话:+86 535 8236617 电话:+86 535 8236637
http://www.gdrplasma.hk/