等离子工艺

  • 真空等离子技术

  • 这些等离子体在密闭的真空中产生(10-3到10-9bar)。与常压条件下相比,每个单位体积中的微粒数较少,这样就增加了粒子自由程长度,并相对减少了碰撞过程。因此,等离子体能量削弱的倾向减弱,可在空间内更广泛地传播。要制造真空腔体,需要使用功能强大的气泵。真空等离子技术不具备在线联动功能。


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    电晕处理技术

    电晕处理是一种使用高电压的物理工艺,主要用于薄膜处理。电晕预处理的缺点是,表面活化能力相对较低,而且处理之后的表面效果有时不够均匀。薄膜的反面也会被处理,有时这是工艺要求需要避免的。而且,经由电晕处理得到的表面张力无法维持长时间的稳定性,经过处理的产品往往只能存放有限的时间。


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    常压射流等离子处理技术

  • 常压等离子是在大气压条件下产生的。这就是说,不需要使用真空腔体。采用电弧放电喷枪技术,首次实现在大气压条件下将非常有效——更重要的是—安全无电势的等离子直接集成到工艺之中。常压等离子处理机成本低、性能好,因而作为真空等离子和电晕工艺的工艺替代和工艺提升,获得了广泛的应用。 常压等离子技术的一大优势,在于其在线集成能力。作为一项工艺准则,这种技术能够顺利集成到现有的生产系统中。



大气辉光等离子清洗技术

APR大气压射频辉光等离子清洗机几乎不产生臭氧或氮氧化物,广泛应用在显示器、手机、半导体、汽车、玻璃、薄膜、聚合物、生物领域的金属和非金属的表面处理工序。因装载方便,适用于各种自动化制程和连续制程。我公司的高频直接式大气压等离子体,跟臭氧和UV灯相比具有100倍以上的清洁效果,跟真空等离子体相比有10倍以上的工作效率,去除有机物、表面活化、去除静电等性能优异,同时还可广泛用于各种带线路材料的灰化、蚀刻、微氧化表面的还原等表面处理


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