详细介绍

>> 产品特点

   立式中型等离子清洗机,触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于BGA、COB、CSP、LED封装制程清洗有机物及氧化物,中批量生产机型
>> 技术参数
 ◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯)
    650(W)×900(D)×1600(H)mm
 ◆ 仓体结构(合金铝,约100升)
    420(W)×420(D)×570(H)mm

 ◆ 放电电极

    9层铝合金放电电极,阳极氧化处理

 ◆ 等离子发生器(美国MKS)
    频率13.56MHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统 

    PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有  手动、自动两种模式

  真空系统
    日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)

    台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器

 ◆ 压力控制

    PID闭环自动稳压控制

  充气系统 

   美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
   美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀
   日本SMC及CKD高真空气阀组件

>> 相关应用   

  光刻胶清洗 

  表面改性








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